可根据要求提供定制的传感器单元。
・最大允许的输入：600 W / 1200 W / 1800 W / 2400 W / 3000 W / 3600 W
・支持的晶圆：6" / 8" / 12"
●接液部材質：振動板：SUS316L
●使用液温度範囲：5～80℃
●振動子：PZT
| 类型 | W-357BM-600F | W-357BM-1200F |
| 发振器类型 | W-357BM-600 | W-357BM-1200 |
| 最大的输入许可 | 600W | 1200W |
| 标称驱动频率 | 1MHｚ |
有效照射面积
W×Dmm | 135×160 | 272×154 |
| 材质 | 板：SUS316L 表面電解研磨 |
| 支持的晶圆尺寸 | 6 inch | 8 inch |
| 换能器线长 | 5m | 5m×2 |
| 质量 | 3.3kg | 7kg |
外部尺寸
W×D×Hmm（不包括布线和管道工程） | 250×220×68 | 355×245×68 |
